是兼有Stocker功能已经通常的生产用Wafer sorter功能的复合型机台。用小尺寸的占地面积来实现Wafer的分选和收纳。
● 可存入600片Wafer，并且可按区域管理
● 采用高速单体和构造，运用最优的传片方式来进行Wafer分选
● 内置的百叶窗结构将Stocker和Sorter内部的微环境隔离
● 有自动Teaching功能缩短Teaching时间
● 可读取正反两面的Wafer ID
● 可存入600片Wafer，并且可按区域管理
● 采用高速单体和构造，运用最优的传片方式来进行Wafer分选
● 内置的百叶窗结构将Stocker和Sorter内部的微环境隔离
● 有自动Teaching功能缩短Teaching时间
● 可读取正反两面的Wafer ID
| 型号： | BWS600 RSC172 | ||||
| 搬送对象： | 300mm | Wafer ： | Φ300±0.2mm | 厚度： | 775μm±20μm |
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 电源电压： | 3相AC200V ～ AC220V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 电流消耗： | 14kVA (40A/200VAC) 含FFU在内 | ||||
| 真空（元压） ： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量） ： | 50L/min | ||||
| Air（元压） ： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量） ： | 50L/min | ||||
|
|
|
||||
