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RV201-F07-C

可以同时兼容FOUP,Auto Door FOSB和Open Cassette的Load port。可以短时间内实现快速地使用切换,该款也继承了RORZE标准的Load Port的开关门方式,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。

FOUP 和 Auto FOSB标准化对应

RORZE独特的开关门机构及高精度的动作控制,以及高洁净度控制。

通过Stage Adapter的使用,可以实现对应Open Cassette。

特殊规格: Open Cassette对应
输入电源: DC24V±10% 6A
压缩空气: 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上
真空空气: -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2: -