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RV201-F07-0

标准款Load Port。采用RORZE独特的开关门机构,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。

FOUP 和 Auto FOSB标准化对应

RORZE具有高精度以及高洁净度的特性。

输入电源: DC24V±10% 6A
压缩空气: 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上
真空空气: -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2: -