在θ軸上有X轴以及Y轴,并且有wafer位置补正的Z轴,可以实现高精度的预对准。
提高产量
高精度(notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
可对应透明片、键合片
在θ軸上有X轴以及Y轴,并且有wafer位置补正的Z轴,可以实现高精度的预对准。
提高产量
高精度(notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
可对应透明片、键合片
Wafer尺寸: |
直径150mm~300mm(RA420-6CV-L) 直径100mm~200mm(RA420-48V-L) |
Notch角度精度: | ±0.05 ~ ±0.1° ※根据校准模式的区别会有所不同 |
中心精度: | ±0.05 ~ ±0.1mm ※根据校准模式的区别会有所不同 |
定位时间: | 2.5 ~ 6.5sec ※根据校准模式的区别会有所不同 |
输入电源: | DC24V 4A |
通讯方式: | TCP/IP(可以选配,对应RS232C) |