拥有夹持轴、θ軸以及Ｚ軸的边缘夹持式预对准。由于是夹持wafer外侧的边缘夹持式的构造，可以最小限度地抑制particle的附着。
高速、高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
提高机台产能（增加缓存机构）
可对应透明片、键合片、通过画像传感器的其他组合方式可以对应没有notch的wafer
拥有夹持轴、θ軸以及Ｚ軸的边缘夹持式预对准。由于是夹持wafer外侧的边缘夹持式的构造，可以最小限度地抑制particle的附着。
高速、高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
提高机台产能（增加缓存机构）
可对应透明片、键合片、通过画像传感器的其他组合方式可以对应没有notch的wafer
| Wafer尺寸： | 直径300mm |
| Notch角度精度： | ±0.05 ～ ±0.2° |
| 中心精度： | ±0.05 ～ ±0.1mm ※根据传感器的种类以及校准模式的区别会有所不同 |
| 定位时间： | 4 ～ 6.5sec |
| 输入电源： | DC24V 4A |
| 通讯方式： | TCP/IP |
