RR493 该款SCARA真空机械手（单臂）通过使用真空直驱马达，实现了位置的高再现性以及高真空隔绝性能。另外，由于使用钢带的连接手臂驱动结构，在保证较小的旋转范围的同时，可以使用较长的End Effector。
较小的旋转范围
可以使用较长的手指，实现较长的伸展距离
可以对应较窄的门阀开口（15mm）
高精度
对应超高真空
高产能
可以选配AWC功能（wafer位置补正）
RR493 该款SCARA真空机械手（单臂）通过使用真空直驱马达，实现了位置的高再现性以及高真空隔绝性能。另外，由于使用钢带的连接手臂驱动结构，在保证较小的旋转范围的同时，可以使用较长的End Effector。
较小的旋转范围
可以使用较长的手指，实现较长的伸展距离
可以对应较窄的门阀开口（15mm）
高精度
对应超高真空
高产能
可以选配AWC功能（wafer位置补正）
| 搬送物： | ~300mm wafer |
| 搬送重量： | 3.0kg/10Nm ※安装手腕的部分（包括End Effector） |
| Wafer中心搬送距离（12寸）： | 635mm(L180)、715mm (L200) 、835mm(L230)、1115mm(L300) |
| Z轴行程： | 70mm/140mm |
| 旋转范围： | 无限旋转 |
| 旋转直径： | 490mm(L180)、530mm(L200)、590mm(L230)、730mm(L300) |
| 搬送精度（X,Y）： | ±0.1mm |
| 重量： | 70kg |
| 应对真空度： | 10E-6 Pa |
| 氦气泄露率： | 5x10E-9 Pa.m3/sec He (基本真空 5x10E-4 Pa) |
| 使用温度： | 80℃以下 |
| 真空内部使用材料： | 铝、不锈钢、AM350（波纹管）、镀镍磁铁、氟橡胶O型密封圈 |
| 马达规格： | 真空用直驱马达（Z轴：伺服马达） |
| 编码器规格： | 绝对值编码器 |
| 电源输入电压： | DC48V（马达驱动）、DC24V（通信） |
| 通讯规格： | TCP/IP |
| 选配： | 手操器、电源单元（AC200V Input） |
