• IonGun
    特點
    • 無發塵電離
    • 離子出口不會發塵
    • 內部圓筒狀ULPA濾網去除供應氣體裡的塵
    • 不會過充離子
    • 無發生臭氧
    • EUV隔離板預防EUV洩漏
    • 專注輻射區域 / 不需管理專人
    • 不會發生高周波電磁噪音
    • 只需要一年一次更換EUV管
  • IonGun
    特點
    • 無發塵電離
    • 離子出口不會發塵
    • 內部圓筒狀ULPA濾網去除供應氣體裡的塵
    • 不會過充離子
    • 無發生臭氧
    • EUV隔離板預防EUV洩漏
    • 專注輻射區域 / 不需管理專人
    • 不會發生高周波電磁噪音
    • 只需要一年一次更換EUV管
  • IonGun
    特點
    • 無發塵電離
    • 離子出口不會發塵
    • 內部圓筒狀ULPA濾網去除供應氣體裡的塵
    • 不會過充離子
    • 無發生臭氧
    • EUV隔離板預防EUV洩漏
    • 專注輻射區域 / 不需管理專人
    • 不會發生高周波電磁噪音
    • 只需要一年一次更換EUV管
  • Fluxless Reflow Oven
     

    根據傳統製程,執行無焊劑回流程序需使用三種製程設備,焊劑烤漆機、反覆回流機和焊劑清潔機。樂華科技所出產的無焊劑回流烤箱能夠將上述所提到的功能在一機台上完整呈現。

    此機台同時減少使用空間、降低投資和運作成本,也降低對環境所產生的負面影響。整體而言,此機台能結省時間及成本卻又能改善運作效率和減少機械裝置上的影響。

     
    • 全自動作業
    • 單晶圓處理
    • 200mm/300mm
    • 依設定控制蟻酸進出