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300 mm Wafer Sorter |
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Wafer Sorter with 300mm Wafer ID Reading Function |
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RSC242 A4 Type(2 Robot with 4 Loadport) |
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特点: |
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| 1. |
具备高速度、省空间、低振动、低噪音之装置 |
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可读取M12、T7、M1.15 |
| 3. |
可读取正反两面之刻度 |
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藉由搭配光学及影像处理，可实现高识别率 |
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藉由磁性流体密封及全封遮盖，可发挥超洁净性能 |
| 6. |
使用抓夹型Robot，可抑止微尘临摹至晶片背面上 |
| 7. |
使用中段差压版，可监视气流及分析，并谋求搬送部附近的低发尘化 |
| 8. |
采用双臂型Robot，于各位置上可高速交替搬送藉由新型控制器可执行最佳加减速控制 |
| 9. |
Robot数及Loadport数可依客户订制搭配 |
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